多晶硅還原爐操作會(huì)發(fā)生什么危險(xiǎn)？
新型多晶硅還原爐主要由底盤(pán)、含夾套冷卻水的鐘罩式雙層爐體、電極、視鏡孔、混和氣進(jìn)氣管、混和氣尾氣出氣管、爐體冷卻水進(jìn)水管、爐體冷卻水出水管、底盤(pán)冷卻水進(jìn)水管、底盤(pán)冷卻水出水管、電極冷卻水進(jìn)水管、電極冷卻水出水管及其他附屬部件組成，爐體主體采用不銹鋼材質(zhì)，以減少設(shè)備材質(zhì)對(duì)產(chǎn)品的污染，混和氣進(jìn)氣管分為數(shù)個(gè)噴口均勻的設(shè)置在底盤(pán)上，在還原爐底盤(pán)上分三個(gè)圓周均勻布置十八對(duì)電極，最外一周布置九對(duì)電極，最內(nèi)一周布置三對(duì)電極，中間一周布置六對(duì)電極，以上設(shè)計(jì)使得還原爐內(nèi)部結(jié)構(gòu)布局合理，單臺(tái)爐每批次產(chǎn)量與現(xiàn)有還原爐比較有大幅度提升，多晶硅的綜合生產(chǎn)成本與能耗也相應(yīng)降低。
一般的，市面上用的是二十四根的尋種還原爐，分為三個(gè)A\B\C三相電極。多晶硅還原爐操作會(huì)發(fā)生什么危險(xiǎn)？氫氣可能泄露，引起爆炸；夾套或冷卻水供應(yīng)不上燒壞爐子；電極與視鏡是整個(gè)還原爐最脆弱的地方，一定要保證冷卻水；停爐時(shí)要做好降溫與置換工作，尤其是對(duì)視鏡等檢修時(shí)要確保里面的氫氣置換完全，否則易發(fā)生事故。還原爐里面用的是純的氫氣及三氯氫硅，1100°條件左右進(jìn)行反應(yīng)，生成的硅沉積于硅棒表面，慢慢生長(zhǎng)，一般要七十二小時(shí)以上不間斷地供料供電。爐壁式夾層用循環(huán)水進(jìn)行冷卻。除非是爐子里面溫度1300°以上時(shí)，硅棒有可能融，但是硅液溢流的情況下可能會(huì)爆炸。溫度過(guò)高，壓力不要太大；爐壁的水千萬(wàn)不可以漏在爐子里面，不然是會(huì)有危險(xiǎn)的。
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